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電漿–現代科技發展的隱形發動機

102/04/17 瀏覽次數 5355
吳宗信｜ 交通大學前瞻火箭研究中心主任
面臨氣候暖化及能源問題，國家對於環保能源逐漸走向減少廢棄物產出與再利用。台灣目前發達產業非半導體產業莫屬，現在最新IC製程設備其中50%都有用到電漿，電漿技術如何投入環保能源領域，並推展至產業應用，獲得更具優勢與效率的動力能源。本屆演講第十場（2013年04月14日）邀請交通大學機械系吳宗信教授，讓我們了解「電漿–現代科技發展的隱形發動機」。
半導體(65) 電漿(10) IC(4)

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